探頭 | F400 | F1 | F1/90 | F10 | N400 | N1 | CN02 | |
測量原理 | 磁性 | 渦流 | ||||||
測量范圍(μm) | 0~400 | 0~1250 | 0~10mm | 0~400 | 0~1250 |
10~200
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測量精度μm | 一點校準 | ±[(1~3)%H+0.7] | ±(3%H+1) | ±(3%H+10) | ±(3%H+1) | ±(3%H+1.5) | ±(3%H+1) | |
二點校準 | ±(1~3%H+0.7) | ±[(1~3)%H+1] | ±[(1~3)%H+10] | ±[(1~3)%H+1] | ±[(1~3)%H+1.5] | --- | ||
低限分辨率 | 0.1 | 0.1 | 1 | 0.1 | 0.1 | 1 | ||
最小曲率半徑(mm) | (凸)1 | 1.5 | 平直 | 10 | 1.5 | 3 | 僅為平面 | |
最小面積直徑(mm) | ¢3 | ¢7 | ¢40 | ¢4 | ¢5 |
¢7
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基本臨界厚度(mm) | 0.2 | 0.5 | 2 | 0.3 | 0.3 | 無限制 |